窒化ケイ素

窒化ケイ素（ちっかケイそ、silicon nitride）は、化学式 Si₃N₄ で表される無機化合物。非酸化物セラミックスの代表。シリコンナイトライド ともいう。

物理的性質

結晶構造は六方晶系で α-Si₃N₄ と β-Si₃N₄ がある。

主な種類として、以下の3種類があげられる。

• sintered silicon nitride (SSN)-焼結窒化ケイ素
• gas pressure sintered silicon nitride (GPSSN)-ガス圧力焼結窒化ケイ素
• hot-pressed silicon nitride (HPSN)-熱処理プレス加工した窒化ケイ素

用途

非常に硬質であることなど、優れた機械的特性を持つことからベアリング、タービンブレード、切削工具などに応用されている。

関連項目

• 窒化物半導体
• 窒化アルミニウム